华卓精科亦庄园区暨光刻机工件台产业化基地奠基仪式隆重举行

作者:华卓精科 | 日期:2017-06-13 11:44:00

201766日,位于路东区的华卓精科亦庄园区暨光刻机工件台产业化基地正式奠基,该基地将于明年建成。届时,一款极大推动我国高端光刻机的研制与产品化的产品将在开发区投产,助力开发区集成电路产业再上新台阶,让中国集成电路制造研发生产走到世界前列。

中芯国际副总裁、清华大学机械工程学院院长、上海微电子装备(集团)股份有限公司董事长、北方华创副董事长等中国集成电路界知名企业领导出席。

华卓精科亦庄园区暨光刻机工件台产业化基地总投资4.9亿元,占地30亩,建筑面积37000多平米,建成后达产将达到产值5亿元以上,预计2018年正式投入使用,形成利税过亿元的高科技集成电路装备企业。

该基地按照“02专项”对光刻机及其零部件产业化的总体要求,围绕开发区打造集成电路及其制造装备研发生产基地的战略部署与发展进行规划。该项目的实施,主要围绕光刻机工件台系统研发和产业化,打造从工件台研发、生产到相关超精密运动系统、集成电路制造装备及其核心零部件的研发、生产的完整产业链,着力打造现代化、标准化、规范化的集成电路制造装备核心零部件产业基地。同时将充分利用开发区的相关优质资源和产业集群的优势,实现华卓精科的相关产品优化布局、规范化生产和市场化经营。

新闻延伸

长期以来半导体、集成电路一直是中国的短板,也是大宗进口商品中占比重最高的一项,荷兰和日本一直是光刻机最先进的国家,长期以来对中国的光刻机进行技术封锁。

北京华卓精科科技股份有限公司由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立,是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。该公司以国内著名高校的原发技术为基础,经过多年技术攻关,已成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品。

光刻机是制造大规模集成电路的核心装备。为将设计图形制作到硅片上,并在23平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管,光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台,在高速运动下需达到2nm(相当于头发丝直径的三万分之一)的运动精度。由此奠定了光刻机超精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域的最尖端地位,被称为超精密技术皇冠上的明珠。

华卓精科推出的65-28nm双工件台干式及浸没式光刻机具有自主知识产权的产品级技术,该机器的投产能够使得我国成为世界少数可以研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域尖端系统的国家之一,将极大推动我国高端光刻机的研制与产品化。

(文章转载自:华卓精科官网,201766日)